Intel 在 2023 年 9 月 13 日宣布將旗下 IMS Nanofabrication 事業約 10% 股份出售給台積電，交易估值約 43 億美金，與 2023 年 6 月出售 20% 股份予貝恩資本( Bain Capital )的權股估值一致；在完成與台積電交易後， Intel 仍持有 IMS 多數股權，並由 Elmar Platzgummer 博士繼續擔任執行長並以獨立子公司營運；此次交易預計在 2023 年第四季完成。 Intel 希冀透過多元投資挹注增強 IMS 自主性，並加速 IMS 成長與創新。
▲ Intel 在 2015 年完成收購 IMS ，在 2023 年 6 月先出售 20% 股份與貝恩資本、同年 9 月再出售 10% 股份予台積電
IMS 是具備先進極紫外光 ( EUV )所需的多重電子束光罩寫入工具領導廠商，對於當前半導體產業如 AI 與行動應用是相當重要的工具供應商。 Intel 自 2009 年開始投資 IMS 、並於 2015 年收購 IMS 剩餘股份，台積電自 2012 年即持續與 IMS 合作開發用於先進技術節點的多重電子束光罩寫入工具。 IMS 在獲得更多元的投資，有助推動下一階段微影技術創新，如高數值孔徑( high-NA )極紫外光，並使半導體產業朝向新型圖案外( patterning )系統轉型。
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